مقدمة: CMP Fluid التصدي للتحديات في صنع المواد الكيميائية

وتعد الصنع الميكانيكي الكيميائي إحدى أهم العمليات في النسيج المتطور لشبه الموصلات.

أثناء مؤتمر الأطراف/اجتماع الأطراف التجهيز وتُسلَّم هذه البطاطا باستمرار إلى سطح الوفير لتحقيق ما يلي:

• الشقة السطحية على مستوى النانومتر
• معدل إزالة المواد الخاضعة للرقابة
• تحسن غلة الوفير
• أداء العمليات المستقرة

نظام توصيل البطاطا مباشرة يؤثر على نوعية عملية مؤتمر الأطراف/اجتماع الأطراف.

وقد يؤثر أي مصدر تلوث من مكونات التلوث بالسائل على ما يلي:

• عيوب سطحية
• جيل الجسيمات
• التلوث بالأيون المعدني
• اتساق العملية
• موثوقية الجهاز

ولذلك، يحتاج مصنعو معدات شبه الموصلات إلى عناصر عالية من التحكم في سوائل النقاء مع التوافق الكيميائي الممتاز.

معلومات أساسية

Profile العملاء

العميل متخصص في:

• مؤتمر الأطراف/اجتماع الأطراف معدات النشر
• الحلول الكاملة لعملية مؤتمر الأطراف/اجتماع الأطراف
• نظم التخطيط السطحي

وتُستخدم معداتهم أثناء عمليات تصنيع الرقائق حيث يكون التسليم الدقيق ضروريا.

التطبيق

COP polishing slurry transportation system

متوسطة

صمامات التلميع الكيميائية

الاحتياجات الرئيسية

The client required liquid handling components with:

معدل الطول المنخفض

ويجب أن تقلل المواد إلى أدنى حد:

• تلوث المعادن
• Ionic release
• الشوائب الكيميائية

المقاومة الكيميائية

ويمكن أن يتضمن مرفق مؤتمر الأطراف/اجتماع الأطراف ما يلي:

• الجسيمات المشبعة
• الأوكسجين
• الإضافات الكيميائية

ويجب أن تحافظ المواد المبتلة على الاستقرار أثناء الاتصالات الطويلة الأجل.

الأداء العالي

ويتطلب النظام ما يلي:

• مستخرجات منخفضة
• مسار سائل نظيف
• الممتلكات المادية المستقرة

التقييم الهندسي

Why Material Selection is Critical in CMP Systems

وقد تُحدث المكونات المعدنية التقليدية مخاطر التلوث بسبب ما يلي:

• إطلاق آيون المعدن
• تصويب
• التفاعل السطحي مع المواد الكيميائية

وبالنسبة للتصنيع المتطور لشبه الموصلات، قد يؤثر التلوث الأثري على نوعية الوفير.

ولذلك، يُنظر على نطاق واسع في مواد الفلوروبوليمر بالنسبة لنظم تسليم المواد الكيميائية العالية النقاء.

الحل الموصى به

CJAN High Purity PFA Fluid Handling System

واستناداً إلى متطلبات الطلب، أوصت اللجنة بما يلي:

Plug Valve

المنتج:

␟0

مقترنة بما يلي:

• ارتفاع مستوى النقاء
• PFA fittings
• مكونات السوائل الفلورية

Why Choose PFA componentss for CMP Applications?

1 ممتاز للمقاومة الكيميائية

ويوفر هذا البرنامج مقاومة بارزة للعديد من المواد الكيميائية العدوانية.

المزايا:

• الأداء الكيميائي المستقر
• انخفاض مخاطر التآكل
• حياة طويلة من الخدمة
• مناسب للبيئات شبه الموصلات المطلوبة

2 Low Metal Ion Contamination Risk

وبالمقارنة مع مكونات السوائل الفلزية، يقلل الحد الأدنى من مصادر التلوث المحتملة.

الاستحقاقات:

• انخفاض إطلاق الأسيون المعدني
• تحسين نقاء البطاطس
• تحسين اتساق العمليات

3 High Purity Fluid Path

وتتطلب عمليات الموصلات الشبهية تسليم سائل نظيف.

وتنص عناصر القوة المؤقتة على ما يلي:

• أسطح داخلية متناثة
• توليد الجسيمات المنخفضة
• نظافة ممتازة
• أداء الاتصال بالسوائل الثابتة

4 Reliable Valve Control

PFA Plug فاليف ينص على ما يلي:

• مراقبة التدفق البسيطة
• هيكل الاتفاق
• المقاومة الكيميائية
• أداء المواد القابلة للمقارنة

مناسبة:

• نُظم البلورات التي نظمها مؤتمر الأطراف/اجتماع الأطراف
• معدات إيصال المواد الكيميائية
• العمليات الرطبة للسامية

قيمة التطبيق

وبعد اعتماد عناصر مناولة السائل من طراز CJAN PFA، يمكن لمصنعي المعدات شبه الموصلات تحقيق ما يلي:

التوصية الهندسية

For CMP polishing equipment, selecting liquid-contact materials should not only consider pressure and temperature.

وتشمل العوامل الحاسمة ما يلي:

• التوافق الكيميائي
• النقاء المادي
• السيطرة على التلوث
• جيل الجسيمات
• الموثوقية الطويلة الأجل

لتوصيل نصف الموصلات نظم تتطلب أداء نقاء عالي وتوفر الحواسب والتجهيزات وبقايا الصمامات من طراز CJAN PFA حلاً موثوقاً بالفلوروبوليمر بالنسبة لمعدات تصنيع الوقود المتطورة.